SMC推出了一款平行密封型門閥XGTP系列。產品采用平行密封結構，可對應300mm晶圓。適用于半導體裝置的真空工藝腔室與傳輸腔室之間的密封。

◇ 長壽命：300萬次（常溫時）

???◇ 低發(fā)塵：發(fā)塵量減少到1/5以下（與舊型號相比）

???◇ 省氣：耗氣量減少22%

???◇ 輕量：14kg（盒式）

???◇ 工作窗尺寸：50mm X 336mm

平行密封構造

▼門上升、下降的直線動作和門開閉的夾緊采用平行密封（L motion）構造，降低了摩擦系數，可大幅減少發(fā)塵量并延長使用壽命。

應用場合

▼半導體加工過程中，針對各工藝腔室之間的隔離。

▼您也可以通過以下視頻了解到更詳細的產品規(guī)格及特性。

▼您也可以通過以下視頻了解到更詳細的產品規(guī)格及特性。

以上信息版權歸上海維特銳所有，如需詳細了解請點擊：日本SMC系列產品